[发明专利]试样观察装置、盖组件及试样观察方法

摘要

本发明揭示的试样观察装置，包括：柱体部，内部形成真空空间，一侧形成有开放口，并具有能产生电子束的电子束发生装置；支撑部，与所述柱体部的开放口相对设置，在大气压下支撑所述试样；盖部，与所述柱体部的开放口相结合，具有电子束能通过的透过窗及用于收集从所述试样产生之电子的收集本体；以及检测部，与所述盖部相连，用于检测基于收集的电子所产生的电流。根据本发明的试样观察装置，在观察大气压中的试样时，可以在大气压气氛下收集从试样所放射的二次电子，因此能提高所观察试样图像的分辨率。

主权项

1.一种试样观察装置，用于观察大气中的试样，所述试样观察装置包括：柱体部，柱体部内部形成真空空间，柱体部一侧形成有开放口，并具有能产生电子束的电子束发生装置；支撑部，与所述柱体部的开放口面对面设置，在大气压下支撑所述试样；盖部，与所述柱体部的开放口相结合，具有电子束能通过的透过窗及用于收集从所述试样产生之电子的收集本体；以及检测部，与所述盖部相连，用于检测基于收集的电子所产生的电流；所述盖部包括：主体，在中央领域形成有贯通口，具有多个层；收集本体，结合在所述贯通口；以及透过窗，形成在所述收集本体的中央领域；其中，所述主体包含沿上下方向层叠结合的下部层、中间层及上部层，其中，所述中间层包含绝缘体。