[发明专利]汽车玻璃立式多腔共形复合膜系连续磁控溅射生产线

摘要

汽车玻璃立式多腔共形复合膜系连续磁控溅射生产线,通过在进料段和出料段分别对称布置初抽低真空腔体组、中真空腔体组和高真空腔体组以前后衔接中段布置的多部薄膜溅射沉积腔体组支持生产线，同时合理控制温度和玻璃的输送速度，完成对汽车玻璃的连续磁控溅射镀膜工艺，从而在玻璃基片形成复合介质膜层，尤其适用于制备全介质膜系阳光选择节能玻璃，整个镀膜过程连续化生产，工艺可控，生产效率和产品合格率较高；具有成本低、膜层材料与基体玻璃结合牢、耐侯性强，无废气产生等优势；有益于推广应用。沉积薄膜后的玻璃的可见光透过率为大于76％，整个风挡玻璃面无明显的光学色差，光学畸变小于3′，具有极高的抗酸耐碱性和耐磨性，因此具有较长的使用寿命。

主权项

汽车玻璃立式多腔共形复合膜系连续磁控溅射生产线,其特征在于，进料段由前向后上依次连接一组初真空腔体(4)、低真空腔体(6)、中真空腔体(7)和高真空腔体(8)，同时对称地，出料段上由前向后依次连接另一组高真空腔体(8)、中真空腔体(7)、低真空腔体(6)和初真空腔体(4)，在进料段高真空腔体(8)和出料段高真空腔体(8)之间通过中段至少一部高真空腔体(8)连续连接至少二部溅射腔体(9)，输送导轨(3)贯穿安装在其中，输送导轨(3)为立式输送机构，进料段前端初真空腔体(4)上安装进料阀门(1)，出料段后端初真空腔体(4)上安装出料阀门(12)。