[发明专利]多晶硅铸锭炉长晶速度自动测量装置

摘要

本发明提供一种多晶硅铸锭炉长晶速度自动测量装置，包括设置在多晶硅铸锭炉上方的箱体，箱体内设有大绕丝轮、胀紧轮和小绕丝轮，大绕丝轮上缠绕有软轴，软轴的另一端依次绕过胀紧轮和小绕丝轮，并在延伸出箱体底部后连接有探测棒，大绕丝轮由电机驱动，从而可通过软轴经胀紧轮和小绕丝轮后带动探测棒在多晶硅铸锭炉内上下运动；箱体底部设有限位传感器，限位传感器和电机均由设置在多晶硅铸锭炉外的控制模块控制。本发明提供的一种多晶硅铸锭炉长晶速度自动测量装置，实现了长晶速度的自动化测量，测量过程非常方便，且测量结果准确、稳定可靠。

主权项

1.一种多晶硅铸锭炉长晶速度自动测量装置，包括设置在多晶硅铸锭炉上方的箱体，其特征在于，所述箱体内设有大绕丝轮、胀紧轮和小绕丝轮，所述大绕丝轮上缠绕有软轴，所述软轴的另一端依次绕过所述胀紧轮和所述小绕丝轮，并在延伸出所述箱体底部后连接有探测棒，所述大绕丝轮由电机驱动，从而可通过所述软轴经所述胀紧轮和所述小绕丝轮后带动所述探测棒在所述多晶硅铸锭炉内上下运动；所述箱体底部设有限位传感器，所述限位传感器和所述电机均由设置在所述多晶硅铸锭炉外的控制模块控制；所述箱体底部设有下支架，所述下支架的上方通过销轴连接有上支架，所述小绕丝轮通过小绕丝轮转轴安装在所述上支架上，所述上支架和所述下支架之间还安装有弹簧，使得所述上支架可带动所述小绕丝轮绕所述销轴转动；所述限位传感器通过限位支架安装在靠近所述下支架的位置处，用于检测与所述上支架之间的距离，并在检测到与所述上支架之间的距离超出所述限位传感器的检测距离时向所述控制模块发出反馈信号。