[发明专利]光刻胶组合物及其制备方法和构图方法有效
| 申请号： | 201610323408.1 | 申请日： | 2016-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN105807563B | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 汪建国 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 彭瑞欣;陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光刻胶组合物，其中，所述光刻胶组合物包括：对第一波长的光感光的第一感光树脂；对第二波长的光感光的第二感光树脂，所述第二波长不同于所述第一波长，且所述第二感光树脂包括二苯胺重氮感光树脂，且所述第二感光树脂在所述光刻胶组合物中所占的质量比例小于所述第一感光树脂在所述光刻胶组合物中所占的质量比例；和成膜树脂。本发明还提供一种构图方法和一种光刻胶组合物的制备方法。利用所述光刻胶组合物进行构图方法时，光刻胶不容易从金属膜层上剥离。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 组合 及其 制备 方法 构图 | ||
【主权项】：
1.一种光刻胶组合物，其特征在于，所述光刻胶组合物包括：/n对第一波长的光感光的第一感光树脂，所述第一感光树脂包括萘醌系重氮型感光树脂，所述第一感光树脂的数均分子量为400～2000；/n对第二波长的光感光的第二感光树脂，所述第二波长不同于所述第一波长，且所述第二感光树脂包括二苯胺重氮感光树脂，且所述第二感光树脂在所述光刻胶组合物中所占的质量比例小于所述第一感光树脂在所述光刻胶组合物中所占的质量比例；和/n成膜树脂；/n所述光刻胶组合物包括以下重量分数的以下组份：/n
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