[发明专利]一种纳米多层透明导电薄膜

摘要

本发明提供了一种纳米多层透明导电薄膜。该纳米多层透明导电薄膜是在基底上沉积有至少一个双层，该双层包括一弱氧化铜（CuOx）层和在CuOx层上的与其接触的、连续的超薄银层。CuOx层中氧与铜原子百分比x为0＜x≤20%；CuOx层厚度为0.5 nm~3 nm，银层厚度为2 nm~10 nm。与传统透明导电薄膜相比，该纳米多层结构透明导电薄膜具有高的光透过率、低的电阻率和表面粗糙度，用作太阳能电池、触摸屏等光电器件的透明电极可改善其性能，而且本发明中纳米多层透明导电薄膜制备时所需温度低，在室温下即可利用真空镀膜技术实现其高质量制备，便于利用卷绕式薄膜制备技术实现大面积低成本生产。

主权项

一种纳米多层透明导电薄膜，其特征是，包括基底、位于所述基底上的CuOx层及位于所述CuOx层上且与所述CuOx层相接触的Ag层；其中，0<x≤20%；所述CuOx层的厚度为0.5nm~3 nm，所述Ag层的厚度为2nm~10 nm。