[发明专利]版图设计中的权重线宽的提取方法有效
| 申请号： | 201610326227.4 | 申请日： | 2016-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN106021703B | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 朱忠华;王伟斌;曹云;魏芳;朱骏;吕煜坤;张旭升 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种版图设计中的权重线宽的提取方法，包括：确定版图设计数据中设计规则允许的最大线宽、最小线宽、版图的最小存储单元单位、以及权重线宽的允许误差；以计算出的线宽对版图设计数据利用缩放法进行提取，得出版图设计数据中所有线宽为计算出的线宽的第一几何图形，同时得出第一几何图形的面积；除去版图设计数据中所有第一几何图形以得到第一版图数据。 | ||
| 搜索关键词： | 版图 设计 中的 权重 提取 方法 | ||
【主权项】：
1.一种版图设计中的权重线宽的提取方法，其特征在于包括：确定版图设计数据中设计规则允许的最大线宽为L，最小线宽为S，版图的最小存储单元单位为d，权重线宽的允许误差为e％；以W1＝L/2‑d的线宽对版图设计数据利用缩放法进行提取，得出版图设计数据中所有线宽为W1的第一几何图形，同时得出第一几何图形的面积为A1；除去版图设计数据中所有第一几何图形以得到第一版图数据；以W2＝W1*(1‑e％)的线宽对第一版图数据利用缩放法进行提取，得出第一版图数据中所有线宽近似为W2的第二几何图形，同时得出第二几何图形的面积为A2；除去第一版图数据中所有第二几何图形以得到第二版图数据；或者，以Wi＝Wi‑1*(1‑e％)的线宽对当前版图数据利用缩放法进行提取，得出版图数据中所有线宽近似为Wi的预定几何图形，同时得出预定几何图形GEi的面积为Ai；除去当前版图数据中所有的预定几何图形以得到更新的版图数据；在Wi<S时，将得到的所有数值Wi、Ai代入公式![]()
求得格点的权重线宽值。
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