[发明专利]一种薄膜蒸镀方法及装置有效
| 申请号： | 201610326988.X | 申请日： | 2016-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN105755433B | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 罗昶;吴海东;马群 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜蒸镀方法及装置，该薄膜蒸镀方法包括将平行于待蒸镀显示基板的线源在水平面沿垂直于线源的方向，从显示基板的第一端匀速移动到与显示基板的第一端相对的第二端；采用挡板遮挡线源；将线源或显示基板在水平面沿顺时针或逆时针方向旋转180度；打开遮挡线源的挡板；将线源在水平面沿垂直于线源的方向，从显示基板的第二端匀速返回到显示基板的第一端。这样在第一次蒸镀完成后旋转线源或显示基板，使线源和显示基板的位置在水平面相对旋转180度再进行第二次蒸镀，相对现有技术中线源与显示基板相对位置保持不变连续往返一次完成薄膜蒸镀，可补偿线源两端蒸镀速率差异，提高显示基板上与线源两端对应的区域的膜厚均一性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种薄膜蒸镀方法，其特征在于，包括：将平行于待蒸镀显示基板的线源在水平面沿垂直于所述线源的方向，从所述显示基板的第一端匀速移动到与所述显示基板的第一端相对的第二端；采用挡板遮挡所述线源；将所述线源或所述显示基板在水平面沿顺时针或逆时针方向旋转180度；打开遮挡所述线源的挡板；将所述线源在水平面沿垂直于所述线源的方向，从所述显示基板的第二端匀速返回到所述显示基板的第一端。
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