[发明专利]一种三氯氢硅合成尾气的处理装置

摘要

本发明属于三氯氢硅处理设备领域，涉及三氯氢硅合成尾气处理设备，尤其涉及一种三氯氢硅合成尾气的处理装置，包括承装装置，承装装置包括承装壳体，承装装置的上方设置有第二吸附装置，第二吸附装置和承装装置之间设置有第一吸附装置。本发明在第二吸附装置和承载装置之间设置了第一吸附装置，在第一吸附装置的内部设置了吸附板，外部设置有大齿轮，大齿轮上还设置了驱动机构，该第一吸附装置可以很好的吸附其内部的气体中的固体硅粉尘和高沸物粉尘，进行过滤，即可以很好的将气体中的固体硅粉尘和高沸物粉尘过滤出来，得到纯净的气体、固体硅粉尘和高沸物粉尘以供分别利用和回收。

主权项

1.一种三氯氢硅合成尾气的处理装置，包括承装装置，所述承装装置包括承装壳体，所述承装壳体的侧壁上设置有进料管，底部设置有固体出料管，其特征在于，所述承装装置的上方设置有第二吸附装置，所述第二吸附装置和承装装置之间设置有第一吸附装置，所述第一吸附装置包括旋转壳体，所述旋转壳体内部设置有吸附板，所述吸附板的一侧面上均匀设置有粗吸附孔，所述吸附板的内部设置有活性炭板，所述吸附板的上下两端设置有设置在旋转壳体内壁上容纳槽，所述旋转壳体上均匀设置有与吸附板内部相连通的通气孔，所述旋转壳体的外壁上设置有大齿轮，所述大齿轮上还设置有驱动大齿轮转动的驱动机构，所述第二吸附装置包括支撑壳体，所述支撑壳体的上部设置有梯形壳体，所述支撑壳体的内部设置有吸附机构，所述吸附机构包括支撑板，所述支撑板上均匀设置有吸附筒，所述梯形壳体的顶部设置有出气管，所述出气管的一侧设置有第二氮气管，所述承装壳体的外部设置有给承装壳体进行加热的加热套筒板，所述旋转壳体的两端通过轴承分别设置在承装壳体和支撑壳体的外壁上，所述轴承设置在容纳槽内。