[发明专利]一种大面积表面增强拉曼散射基底及其制备方法

摘要

本发明公开一种大面积表面增强拉曼散射基底及其制备方法，属于纳米材料领域。该制备方法首先制备具有三维微米级结构的模板；在三维结构模板上蒸镀一层银，形成银纳米颗粒；在蒸镀结束后，在银纳米颗粒上继续蒸镀一层氧化物薄膜作为间隔层；在蒸镀结束后，继续蒸镀一层银，得大面积表面增强拉曼散射基底。本发明的方法制备过程简单快速，利用微米级三维结构的侧壁部分作为倾角蒸镀的基底，通过电子束蒸镀的方法制备金属纳米颗粒，而不必通过一定模板或复杂的工艺。本发明的基底对激发光的利用率高：同层银颗粒之间、不同层银颗粒之间均可形成SERS增强的“热点”，大大提高了基底的SERS增强效果。

主权项

1.一种大面积表面增强拉曼散射基底的制备方法，其特征在于包括以下步骤：(1)制备具有三维结构的模板；(2)在三维结构模板上蒸镀一层银，利用三维结构的侧壁的法线方向与蒸镀的金属粒子入射方向呈一定倾斜角，形成银纳米颗粒；(3)在步骤(2)蒸镀结束后，在银纳米颗粒上继续蒸镀一层氧化物薄膜作为间隔层；(4)在步骤(3)蒸镀结束后，继续蒸镀一层银，将形成“银颗粒‑氧化物间隔层‑银颗粒”结构的三明治型纳米颗粒，即大面积表面增强拉曼散射基底；其中步骤(2)和(4)中，所述的蒸镀一层银，银的厚度以在相应的模板侧壁上不连成一片为上限；步骤(2)中所述的一定倾斜角的角度为50°～80°。