[发明专利]一种利用模板辅助的有序大面积单层微/纳米球及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201610327497.7 申请日: 2016-05-16
公开(公告)号: CN105947970A 公开(公告)日: 2016-09-21
发明(设计)人: 薛亚莉;张渊;刘芬;胡治朋 申请(专利权)人: 华南师范大学
主分类号: B81C1/00 分类号: B81C1/00;B81B1/00
代理公司: 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人: 裘晖
地址: 510006 广东省广州市番禺区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开一种利用模板辅助的有序大面积单层微/纳米球及其制备方法,属于半导体材料制备技术领域。本发明在基片上制作出有一定尺寸的结构,并将此作为模板;将单层微球沉积到模板上,当液体蒸发后,得到利用模板辅助的有序大面积单层微/纳米球结构。本发明得到的有序大面积单层微/纳米球缺陷较少、走向有序性高、几乎无多层现象,从扫描电镜图进行直观观测,可以看出其良好的有序性。
搜索关键词: 一种 利用 模板 辅助 有序 大面积 单层 纳米 及其 制备 方法
【主权项】:
一种利用模板辅助的有序大面积单层微/纳米球的制备方法,其特征在于包括以下具体步骤:(1)在基片上制作出有一定尺寸的结构,并将此作为模板;(2)将单层微球沉积到模板上,当液体蒸发后,得到利用模板辅助的有序大面积单层微/纳米球结构。
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