[发明专利]一种利用模板辅助的有序大面积单层微/纳米球及其制备方法在审
申请号: | 201610327497.7 | 申请日: | 2016-05-16 |
公开(公告)号: | CN105947970A | 公开(公告)日: | 2016-09-21 |
发明(设计)人: | 薛亚莉;张渊;刘芬;胡治朋 | 申请(专利权)人: | 华南师范大学 |
主分类号: | B81C1/00 | 分类号: | B81C1/00;B81B1/00 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 裘晖 |
地址: | 510006 广东省广州市番禺区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种利用模板辅助的有序大面积单层微/纳米球及其制备方法,属于半导体材料制备技术领域。本发明在基片上制作出有一定尺寸的结构,并将此作为模板;将单层微球沉积到模板上,当液体蒸发后,得到利用模板辅助的有序大面积单层微/纳米球结构。本发明得到的有序大面积单层微/纳米球缺陷较少、走向有序性高、几乎无多层现象,从扫描电镜图进行直观观测,可以看出其良好的有序性。 | ||
搜索关键词: | 一种 利用 模板 辅助 有序 大面积 单层 纳米 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种利用模板辅助的有序大面积单层微/纳米球的制备方法,其特征在于包括以下具体步骤:(1)在基片上制作出有一定尺寸的结构,并将此作为模板;(2)将单层微球沉积到模板上,当液体蒸发后,得到利用模板辅助的有序大面积单层微/纳米球结构。
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