[发明专利]一种基于紫外光谱法的气体组分检测方法和装置

摘要

本申请公开了一种基于紫外光谱法的气体组分检测方法和装置，包括：紫外光源与设置于气体吸收池的入口外侧的准直镜相连，提供检测时的紫外光；设置于气体吸收池入口内侧的第一凹形反射镜和设置于气体吸收池出口内侧的第二凹形反射镜依次反射准直后的紫外光，直至反射至聚焦镜，其中，依次反射的反射光通过预先注入的待测气体；光谱仪对聚焦后的反射光进行光谱分析，并将得到的吸收光谱发送给数据处理装置；数据处理装置根据输入的紫外光的波长和功率值、待测气体的气压和温度、吸收光谱以及预先存储的气体紫外光吸收光谱的标准图谱进行对比分析，得到待测气体的组分及含量，并进行显示，以实现提高检测SF₆分解组分的效率和精度的目的。

主权项

一种基于紫外光谱法的气体组分检测装置，其特征在于，包括：紫外光源、气体吸收池、光谱仪和数据处理装置；所述紫外光源与设置于所述气体吸收池的入口外侧的准直镜相连，用于提供检测时所需要的紫外光；所述气体吸收池的入口内侧设置有第一凹形反射镜，所述气体吸收池的出口内侧设置有第二凹形反射镜，所述气体吸收池的出口外侧设置有聚焦镜；所述第一凹形反射镜和所述第二凹形反射镜依次反射经所述准直镜准直的所述紫外光，直至反射至所述聚焦镜，其中，依次反射的反射光通过预先注入所述气体吸收池内的待测气体；所述光谱仪与所述聚焦镜相连，用于对所述聚焦镜聚焦后的所述反射光进行光谱分析，并将分析获得的吸收光谱发送给所述数据处理装置；所述数据处理装置与所述光谱仪相连，用于根据输入的所述紫外光的波长和功率值、所述气体吸收池内待测气体的气压和温度、所述吸收光谱以及预先存储的气体紫外光吸收光谱的标准图谱进行对比分析，得到并显示所述待测气体的组分及含量。