[发明专利]函括格点边缘区域图形数据的版图特征参数提取方法有效

专利信息
申请号: 201610327932.6 申请日: 2016-05-17
公开(公告)号: CN106021707B 公开(公告)日: 2019-05-03
发明(设计)人: 朱忠华;阚欢;魏芳;朱骏;吕煜坤;张旭升 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: G06F17/50 分类号: G06F17/50
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 智云
地址: 201203 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供了一种函括格点边缘区域图形数据的版图特征参数提取方法,包括:对原始设计版图数据进行至少四次格点划分,而且,在格点划分的同时,将格点的所有边由图形内向外扩展,扩展后即形成了环状区域;区分格点内的图形与格点边缘图形;计算格点内的图形进行权重线宽、图形周长、图形密度,得到计算结果和影响因子定位;计算格点边缘区域的图形进行权重线宽、图形周长、图形密度,得到计算结果和影响因子定位;计算所有格点的几何特征参数值。
搜索关键词: 函括格点 边缘 区域 图形 数据 版图 特征 参数 提取 方法
【主权项】:
1.一种函括格点边缘区域图形数据的版图特征参数提取方法,其特征在于包括:第一步骤:对原始设计版图数据进行至少四次格点划分,其中第一批格点划分的格点是以坐标(0,0)为起始点,格点大小为w*w;第二批格点划分的格点是以坐标(w,0)为起始点,格点大小为w*w;第三批格点划分的格点是以坐标(0,w)为起始点,格点大小为w*w;第四批格点划分的格点是以坐标(w,w)为起始点,格点大小为w*w;而且,在格点划分的同时,将格点的所有边由图形内向外扩展r,其中r>=L/2且r<=w/2,L为设计规则中的最大尺寸,扩展后即形成了环半径为r的环状区域;第二步骤:区分格点内的图形与格点边缘图形;第三步骤:对格点内的图形权重线宽、图形周长、图形密度进行计算,得到计算结果Win,影响因子定位1;第四步骤:对格点边缘区域的图形权重线宽、图形周长、图形密度进行计算,得到计算结果Wed,影响因子定位f,其中f<=1;第五步骤:计算所有格点的几何特征参数值W=Win+Wed*f。
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