[发明专利]共渗法制备极限电流型氧传感器致密扩散障碍层的方法有效
申请号: | 201610328151.9 | 申请日: | 2016-05-18 |
公开(公告)号: | CN105948747B | 公开(公告)日: | 2018-08-28 |
发明(设计)人: | 刘涛;秦华杰;王珊;刘健 | 申请(专利权)人: | 东北大学 |
主分类号: | C04B35/50 | 分类号: | C04B35/50;C04B35/622;C04B41/87;G01N27/26 |
代理公司: | 沈阳东大知识产权代理有限公司 21109 | 代理人: | 赵嬛嬛 |
地址: | 110819 辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明属于传感器技术领域,具体涉及一种共渗法制备极限电流型氧传感器致密扩散障碍层的方法。本发明以La2O3,SrCO3,Ga2O3和MgO为原料,采用固相合成法制备了La0.8Sr0.2Ga0.83Mg0.17O2.815片,将La0.8Sr0.2Ga0.83Mg0.17O2.815片置于成型模具的下部,成型模具上部填充过渡金属氧化物粉末,在6~10MPa的压强下保压5~10min,然后于1400℃~1600℃下烧结5‑50h,自然冷却后得到极限电流型氧传感器致密扩散障碍层。本发明方法制备的致密扩散障碍层组织致密均匀无气孔且结合牢固,且将基体和致密扩散障碍层热膨胀差异降到最低,具有制作周期短,灵敏度高的优点。 | ||
搜索关键词: | 法制 极限 电流 传感器 致密 扩散 障碍 方法 | ||
【主权项】:
1.一种共渗法制备极限电流型氧传感器致密扩散障碍层的方法,按照以下步骤进行:(1)按照La0.8Sr0.2Ga0.83Mg0.17O2.815(LSGM)的化学计量比,称取La2O3,SrCO3,Ga2O3和MgO,充分研磨至粒度≤100μm后压片,于1000℃保温20h,自然冷却后将其破碎,再次研磨后压片,于1200℃保温20h,再次自然冷却后进行再次破碎,第三次研磨后压片,于1450℃保温20h;其特征在于:(2)将制得的La0.8Sr0.2Ga0.83Mg0.17O2.815片置于成型模具的下部,成型模具上部填充过渡金属氧化物粉末,在6~10MPa的压强下保压5~10min,然后于1400℃~1600℃下烧结5‑50h,自然冷却后得到极限电流型氧传感器致密扩散障碍层。
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