[发明专利]一种氯硅烷残液生产氯化氢气体的方法

摘要

本发明公开了一种氯硅烷残液生产氯化氢气体的方法，属于多晶硅生产废物资源化领域；本发明将氯硅烷残液在含饱和盐酸反应釜中高速搅拌水解，水解产生的氢气和氯化氢气体、过饱和盐酸释放的氯化氢气体及被气流带出未反应完全的氯硅烷雾滴或气体进入吸收塔，氯硅烷气体及部分氯化氢气体被近饱和盐酸吸收，吸收液变为饱和盐酸返回反应釜，剩余的氢气和氯化氢气体经过水冷和深冷后进入三氯氢硅的合成工序。本发明利用氯硅烷残液水解产生氯化氢、氯硅烷残液水解反应为放热反应、饱和盐酸无法再吸收氯化氢的原理，用饱和盐酸水解氯硅烷残液直接获得氯化氢气体，省去了专门的盐酸解析设备，减少能源消耗，降低生产装置建设和运行成本。 1

主权项

1.一种氯硅烷残液生产氯化氢气体的方法，其特征在于，具体包括以下步骤：

（1）将氯硅烷残液送入含饱和盐酸的反应釜（1），强力搅拌，氯硅烷残液在饱和盐酸中水解，水解反应产生的氢气和氯化氢气体、过饱和盐酸释放的氯化氢气体、被气流带出的未反应完全的氯硅烷雾滴或气体进入吸收塔（2），用盐酸收集罐（9）中的盐酸水解和吸收后，吸收液最终返回到反应釜（1）中；

（2）吸收塔（2）出来的气体经过水冷器（3）、气液分离器I（4）、深冷器（5）、气液分离器II（6），获得干燥脱水的氢气和氯化氢气体混合物进入三氯氢硅的合成工序，冷凝液进入盐酸收集罐（9）；

（3）反应釜（1）中的水解液用渣浆泵I（7）送入过滤机I（8）过滤，滤液进入盐酸收集罐（9），滤渣进入洗涤罐（10）进行洗涤，浆液用渣浆泵II（11）送入过滤机II（12）过滤，滤液进入盐酸收集罐（9），滤渣二氧化硅进入后处理工序；

（4）过滤机I（8）、过滤机II（12）滤液和水冷器（3）、深冷器（5）的冷凝液在盐酸收集罐（9）通过搅拌充分混合后获得盐酸，用循环泵（13）输送至吸收塔（2）作为吸收剂循环使用；

所述反应釜（1）内温度为40~60℃。

2.根据权利要求1所述的一种氯硅烷残液生产氯化氢气体的方法，其特征在于：所述反应釜（1）搅拌速度为150~400r/min。

3.根据权利要求1所述的一种氯硅烷残液生产氯化氢气体的方法，其特征在于：所述水冷器（3）冷媒为15~25℃循环冷却水，所述深冷器（5）冷媒为‑17~‑7℃冷冻盐水。

4.根据权利要求1所述的一种氯硅烷残液生产氯化氢气体的方法，其特征在于：所述洗涤罐（10）洗涤用水为新鲜工业水，洗涤水同时作为氯硅烷残液水解反应耗水和进入滤渣中洗涤置换氯化氢的水。