[发明专利]熔体设备的保护装置有效
| 申请号： | 201610328847.1 | 申请日： | 2016-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN107385506B | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 郭鸿震 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 31219 上海光华专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 罗泳文<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种熔体设备的保护装置，所述熔体设备包括：底座以及坩埚轴，所述底座中设置有供所述坩埚轴穿过的通孔，所述通孔壁与坩埚轴之间具有容置空间；所述保护装置包括：保护套管，填充于所述通孔壁与坩埚轴之间的容置空间内；保护垫，固定连接于所述保护套管的底部。本发明在底板及坩埚轴之间插入石墨管及耐高温毛毡，可以避免熔体泄漏后，流至冷却水系统导致冷却水系统损坏而造成漏水的问题。同时，可以防止熔体泄漏至其他生长设备上导致生长设备的损坏的问题。本发明采用耐高温的石墨材料以及耐高温且吸附性能优异的耐高温毛毡作为保护装置，可以大大提高熔体设备的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 保护装置 | ||
【主权项】：
1.一种熔体设备的保护装置，其特征在于：所述熔体设备包括：底座以及坩埚轴，所述底座中设置有供所述坩埚轴穿过的通孔，所述通孔壁与坩埚轴之间具有容置空间；/n所述保护装置包括：/n保护套管，填充于所述通孔壁与坩埚轴之间的容置空间内，所述保护套管与所述通孔侧壁紧密相连；/n保护垫，套设于所述坩埚轴上且固定连接于所述保护套管的底部；/n导向环，套设于所述坩埚轴上且固定连接于所述保护套管的上部。/n
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