[发明专利]图像传感器的自对准滤光片

摘要

本发明揭示一种图像传感器以及图像传感器的自对准滤光片，其包含至少一个设置在一半导体基板中的光敏元件。金属导体可设置在该半导体基板上。一滤光片可设置在至少两个单独的金属导体之间且一微透镜可设置在该滤光片上。可存在设置于这种金属导体与该半导体基板之间及/或单独的金属导体之间的绝缘体材料。该绝缘体材料可经移除以使得该滤光片可设置在该半导体基板上。

主权项

1.一种图像传感器，包括：半导体基板，其具有一设置在其中的光敏元件；介电材料，其设置在该半导体基板上；多个金属导体层，其设置在该介电材料中；间隙，其形成于该介电材料中延伸穿过多个金属导体层，该间隙与该光敏元件对准，该间隙的横截面是矩形；钝化层，其设置在所述介电材料和多个金属导体层之上；以及多个滤光片，每一个滤光片设置在所述钝化层之上且在该间隙中以使得该滤光片在该光敏元件上方自对准；其中，所述滤光片包括直接设置于所述钝化层的平坦表面上的凸缘，且相邻滤光片的所述凸缘在所述钝化层上互连，从而多个滤光片的上表面形成一平面；其中，该间隙延伸至该半导体基板的表面，且其中，该钝化层延伸至该间隙中至该基板的表面以使得该滤光片仅通过该钝化层与该光敏元件分离；其中，所述多个滤光片延伸至所述半导体基板的表面；其中，微透镜被设置在所述滤光片上。