[发明专利]一种晶体硅太阳能电池扩散炉在审
申请号: | 201610332619.1 | 申请日: | 2016-05-18 |
公开(公告)号: | CN105908260A | 公开(公告)日: | 2016-08-31 |
发明(设计)人: | 石强;秦崇德;方结彬;黄玉平;何达能;陈刚 | 申请(专利权)人: | 广东爱康太阳能科技有限公司 |
主分类号: | C30B31/06 | 分类号: | C30B31/06;C30B31/16;C30B31/14 |
代理公司: | 佛山市中迪知识产权代理事务所(普通合伙) 44283 | 代理人: | 张伶俐 |
地址: | 528100 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种晶体硅太阳能电池扩散炉,所述晶体硅太阳能电池扩散炉包括带有炉门的立式炉腔、加热器、第一立式石英舟、第二立式石英舟、由电机驱动旋转的支架;所述炉门设有进气管,立式炉腔设有排气管;所述第一立式石英舟、第二立式石英舟与支架固定连接;所述加热器固定在立式炉腔外侧。与现有技术相比,本发明采用立式结构和旋转支架,使得硅片和反应气体的接触更加充分,使得扩散反应更加均匀;采用并排两个立式石英舟的设计方式,在保证扩散均匀性的情况下,大大提高扩散的产能。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体 太阳能电池 扩散 | ||
【主权项】:
一种晶体硅太阳能电池扩散炉,其特征在于,所述晶体硅太阳能电池扩散炉包括带有炉门的立式炉腔、加热器、第一立式石英舟、第二立式石英舟、由电机驱动旋转的支架;所述炉门设有进气管,立式炉腔设有排气管;所述第一立式石英舟、第二立式石英舟与支架固定连接;所述加热器固定在立式炉腔外侧。
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