[发明专利]脆性材料基板中垂直裂纹的形成方法及基板断开方法

摘要

本发明提供脆性材料基板中垂直裂纹的形成方法及基板断开方法，其能够在脆性材料基板上高可靠性地形成垂直裂纹。在脆性材料基板上形成垂直裂纹的方法包括：槽线形成工序，在一个主面上形成槽线，槽线是线状的槽部；以及辅助线形成工序，通过使划线轮压接滚动而形成与槽线交叉的辅助线，其中，划线轮在外周部具有等间距地设有多个槽的刀尖，在槽线形成工序中，将槽线形成为正下方维持无裂纹状态，在辅助线形成工序中，在使划线轮于水平面内以预定的倾斜角度从辅助线的形成前进方向倾斜的状态下形成辅助线，从而以两条线的交点为起点，产生从槽线起的垂直裂纹的扩展。

主权项

一种脆性材料基板中垂直裂纹的形成方法，用于在厚度方向上断开脆性材料基板时，于断开位置形成垂直裂纹，其特征在于，包括：槽线形成工序，在所述脆性材料基板的一个主面上形成槽线，所述槽线是线状的槽部；以及辅助线形成工序，通过使划线轮在所述一个主面上压接滚动而形成辅助线，所述划线轮在外周部具有等间距地设有多个槽的刀尖，所述辅助线是与所述槽线交叉的加工痕，在所述槽线形成工序中，以在所述槽线的正下方维持无裂纹状态的方式形成所述槽线，所述辅助线形成工序中，在使所述划线轮于水平面内以预定的倾斜角度从所述辅助线的形成前进方向倾斜的状态下形成所述辅助线，并且，以所述槽线与所述辅助线的交点为起点，使垂直裂纹从所述槽线起向所述脆性材料基板的厚度方向扩展。