[发明专利]流体处理用装置有效
申请号: | 201610333470.9 | 申请日: | 2016-05-19 |
公开(公告)号: | CN106169412B | 公开(公告)日: | 2019-07-09 |
发明(设计)人: | 狩野晶二;河村忠和 | 申请(专利权)人: | 优志旺电机株式会社 |
主分类号: | H01J61/36 | 分类号: | H01J61/36;H01J61/56 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 李罡;陆锦华 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供能够得到高安全性的流体处理用装置。流体处理用装置具有:处理室,对具有导电性的被处理流体进行处理;长条的放电空间形成管,由电介质材料构成,封入有放电气体,并且以与在所述处理室内流动的被处理流体接触的方式设置;长条电极,以沿着该放电空间形成管的管轴方向延伸的方式配置在所述放电空间形成管的内部;以及驱动电源,进行供电,该供电用于在所述放电空间形成管的内部,经由该放电空间形成管中的被处理流体所接触的区域的管壁,使所述长条电极与该被处理流体之间产生放电,其特征在于,所述驱动电源的一个端子与所述长条电极电连接,所述驱动电源的另一个端子与被处理流体电连接,从而该被处理流体成为接地电位状态。 | ||
搜索关键词: | 流体 处理 装置 | ||
【主权项】:
1.一种流体处理用装置,具有:处理室,对具有导电性的被处理流体进行处理;长条的放电空间形成管,由电介质材料构成,封入有放电气体,并且以与在所述处理室内流动的被处理流体接触的方式设置;长条电极,以沿着所述放电空间形成管的管轴方向延伸的方式配置在所述放电空间形成管的内部;以及驱动电源,进行供电,所述供电用于在所述放电空间形成管的内部,经由所述放电空间形成管中的被处理流体所接触的区域的管壁,使所述长条电极与该被处理流体之间产生放电,所述流体处理用装置的特征在于,所述驱动电源的一个端子与所述长条电极电连接,所述驱动电源的另一个端子与被处理流体电连接而使该被处理流体成为接地电位状态,在所述处理室设置有:供给被处理流体的供给口部;以及排出在该处理室中处理的被处理流体的排出口部,在所述供给口部和所述排出口部中的至少一方设置有用于使被处理流体与所述驱动电源的另一个端子电连接的连接部位。
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