[发明专利]一种基于复合衬底的掺钠铜铟镓硒薄膜及其制备方法

摘要

一种基于复合衬底的掺钠铜铟镓硒薄膜及其制备方法，衬底由苏打玻璃及生长于其表面的聚酰亚胺膜构成，其中苏打玻璃的厚度为1.5‑2mm，聚酰亚胺膜厚度为25‑30μm，生长于此种复合衬底表面的铜铟镓硒薄膜，化学分子式为CuIn_1‑xGa_xSe₂，式中x为0.25‑0.35，导电类型为p型；该铜铟镓硒薄膜CuIn_1‑xGa_xSe₂薄膜沉积于聚酰亚胺膜‑苏打玻璃复合衬底表面，厚度为1.5‑2μm。本发明的优点是：该基于聚酰亚胺膜‑苏打玻璃复合衬底的铜铟镓硒薄膜结晶质量好、晶粒较大、缺陷较少，利用钢性衬底制备柔性太阳电池；其制备方法简单、易于实施，有利于大规模的推广应用。

主权项

一种基于聚酰亚胺膜‑苏打玻璃复合衬底的铜铟镓硒薄膜，其特征在于：化学分子式为CuIn_1‑xGa_xSe₂，式中x为0.25‑0.35，导电类型为p型；该铜铟镓硒薄膜CuIn_1‑xGa_xSe₂薄膜沉积于聚酰亚胺膜‑苏打玻璃复合衬底表面，厚度为1.5‑2μm。