[发明专利]一种高束流直流空心阴极等离子体源

摘要

本发明公开一种高束流直流空心阴极等离子体源，包括密封管、空心电极、阴极板、连接板、第一阳极板、第二阳极板、引弧隔套和控制电源；空心电极安装在阴极板上；密封管与阴极板连接并将空心电极套入其中；密封管顶部设有用于将气体输入至空心电极中的气体导入口；连接板用于实现阴极板和第一阳极板的密封连接，并使二者之间形成电势差；第二阳极板与空心电极之间形成高密度等离子体束流；引弧隔套设在空心电极与第二阳极板之间；控制电源具有正极、负极和引弧极，正极连接第二阳极板，负极连接阴极板，引弧极连接第一阳极板。本发明可以满足多种气体的使用，并可以产生高离化率的等离子体束流，从而有效提高了能量的转化效率。

主权项

一种高束流直流空心阴极等离子体源，其特征在于，包括密封管(1)、空心电极(3)、阴极板(4)、连接板(5)、第一阳极板(7)、第二阳极板(8)、引弧隔套(10)和控制电源(12)，其中：所述空心电极(3)安装在阴极板(4)上并且可以前后调节移动；所述密封管(1)与阴极板(4)连接，并将空心电极(3)套入其中，以实现对空心电极的密封，并为空心电极的移动预留余量；该密封管顶部还设有用于将气体输入至空心电极中的气体导入口(2)；所述第一阳极板(7)用作等离子体源的弧电极，所述连接板(6)用于实现阴极板和第一阳极板的密封连接，并使二者之间形成电势差；所述第二阳极板(11)用作等离子体源的工作电极，其与第一阳极板(7)底部间隔30～50厘米，并与空心电极之间形成高密度等离子体束流；所述引弧隔套(10)设置在空心电极(3)与第二阳极板(11)之间，用于控制引弧区域的大小，满足不同气体的引弧；所述控制电源(12)具有正极、负极和引弧极，其中，正极与第二阳极板连接，负极与阴极板连接，引弧极与第一阳极板连接。