[发明专利]电子级砷烷中磷烷杂质含量的分析装置和方法有效
| 申请号： | 201610334739.5 | 申请日： | 2016-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN105784888B | 公开（公告）日： | 2018-03-27 |
| 发明（设计）人： | 周庆美;李东升 | 申请（专利权）人： | 上海正帆科技股份有限公司;合肥正帆电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/60 | 分类号： | G01N30/60;G01N30/88 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司31001 | 代理人： | 翁若莹,王婧 |
| 地址： | 201108 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种电子级砷烷中磷烷杂质含量的分析装置和方法。所述的电子级砷烷中磷烷杂质含量的分析装置，其特征在于，包括十通阀、定量环、第一分离分析柱、第二分离分析柱和检测器，十通阀的10号口与载气进口连通，十通阀的9号口连接第一分离分析柱，第一分离分析柱连接第二分离分析柱，第二分离分析柱连接检测器，十通阀的6号口连接样品出口，十通阀的7号口连接样品进口；在检测状态时，十通阀的10号口与1号口连通，1号口与4号口连通，4号口与5号口连通，5号口经定量环与8号口连通，8号口与9号口连通，6号口与7号口连通。本发明分析电子级砷烷中的痕量磷烷杂质准确度高，分析时间短，消耗样品少，灵敏度高。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 级砷烷中磷烷 杂质 含量 分析 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种电子级砷烷中磷烷杂质含量的分析装置，其特征在于，包括十通阀（3）、定量环（4）、第一分离分析柱（5）、第二分离分析柱（6）和检测器，十通阀（3）的10号口与载气进口连通，十通阀（3）的9号口连接第一分离分析柱（5），第一分离分析柱（5）连接第二分离分析柱（6），第二分离分析柱（6）连接检测器，十通阀（3）的6号口连接样品出口，十通阀（3）的7号口连接样品进口；在初始状态时，十通阀（3）的6号口与5号口连通，5号口经定量环（4）与8号口连通，8号口与7号口连通，10号口与9号口连通；在检测状态时，十通阀（3）的10号口与1号口连通，1号口与4号口连通，4号口与5号口连通，5号口经定量环（4）与8号口连通，8号口与9号口连通，6号口与7号口连通；所述的第一分离分析柱（5）和第二分离分析柱（6）为HP‑1聚二甲基硅氧烷聚合物石英毛细管色谱柱；所述的检测器为质量选择检测器；所述的载气为氦气。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海正帆科技股份有限公司;合肥正帆电子材料有限公司，未经上海正帆科技股份有限公司;合肥正帆电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610334739.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
