[发明专利]一种超高反射率光学扫描振镜及其制备方法

摘要

本发明涉及一种超高反射率光学扫描振镜，所述的光学扫描振镜由玻璃基材层及沉积镀制在玻璃基材层上的高反膜组成；所述的高反膜由9层膜层组成，9层膜层依照距离玻璃基材层从近至远的顺序依次为：第一Al2O3膜层、Ag膜层、第二Al2O3膜层、第一SiO2膜层、第一高折射率材料膜层、第二SiO2膜层、第二高折射率材料膜层、第三SiO2膜层、第三高折射率材料膜层。本发明的有益效果是：在减少镀膜层数的同时大大增加反射带带宽和谐振角度，反射率大于99％的反射带宽达300nm，且有效谐振角度可达0‑80°。

主权项

1.一种超高反射率光学扫描振镜，所述的光学扫描振镜由玻璃基材层(1)及沉积镀制在玻璃基材层上的高反膜(2)组成；其特征在于：所述的高反膜(2)由9层膜层组成，9层膜层依照距离玻璃基材层从近至远的顺序依次为：第一Al2O3膜层(21)、Ag膜层(22)、第二Al2O3膜层(23)、第一SiO2膜层(24)、第一高折射率材料膜层(25)、第二SiO2膜层(26)、第二高折射率材料膜层(27)、第三SiO2膜层(28)、第三高折射率材料膜层(29)；所述的第一高折射率材料膜层(25)、第二高折射率材料膜层(27)和第三高折射率材料膜层(29)均由折射率范围为1.9～2.4的高折射率材料制成；第一Al2O3膜层(21)的厚度为98‑100nm，Ag膜层(22)的厚度为100‑120nm，第二Al2O3膜层(23)的厚度为12‑15nm，第一SiO2膜层(24)的厚度为118‑120nm，第一高折射率材料膜层(25)的厚度为105‑108nm，第二SiO2膜层(26)的厚度为135‑138nm，第二高折射率材料膜层(27)的厚度为105‑108nm，第三SiO2膜层(28)的厚度为135‑138nm，第三高折射率材料膜层(29)的厚度为105‑108nm；所述的玻璃基材层(1)是熔石英FS或K9玻璃；所述的高折射率材料为Nb2O5、TiO2、Ta2O5或ZrO2。