[发明专利]一种交替增量式测量微位移传感器的测量方法

摘要

本发明公开了一种交替增量式测量微位移传感器的测量方法，该传感器包括激光束、固定反射镜、移动反射镜、探测反射镜、光电探测器一、光电探测器二和处理系统。运用该传感器，通过激光束在平行设置的固定反射镜与移动反射镜之中不断反射到探测反射镜，最终照射到两组光电探测器上，改变固定反射镜与移动反射镜的间距，即会改变激光束的反射路径，每组光电探测器上的三个探测部件多次感应激光束，处理系统根据每组探测部件感应到激光束的次数和感光顺序以及探测部件间的间距处理得到一个探测距离值，处理系统能够通过这个探测距离值来计算出固定反射镜与移动反射镜间距的真实改变值，该传感器结构简单，测量可靠，精度较高，易于实现批量制造。

主权项

1.一种交替增量式测量微位移传感器的测量方法，应用一种交替增量式测量微位移传感器，该位移传感器包括激光束(11)、固定反射镜(2)、移动反射镜(3)、探测反射镜(4)、光电探测器一(5)、光电探测器二(6)和处理系统，所述光电探测器一(5)设有固定间距的探测部件一(51)、探测部件二(52)和探测部件三(53)，所述探测部件三(53)设于所述探测部件一(51)和探测部件二(52)的直线连线之间的任意位置，所述光电探测器二(6)设有固定间距的探测部件四(61)、探测部件五(62)和探测部件六(63)，所述探测部件六(63)设于所述探测部件四(61)和探测部件五(62)的直线连线之间的任意位置，所述固定反射镜(2)与移动反射镜(3)平行设置并且能够相对移动，所述固定反射镜(2)与移动反射镜(3)的一端设置所述探测反射镜(4)、光电探测器一(5)和光电探测器二(6)，另一端设置所述激光束(11)，所述光电探测器一(5)和光电探测器二(6)设于所述探测反射镜(4)两侧，所述激光束(11)入射到所述固定反射镜(2)上，经过所述固定反射镜(2)与移动反射镜(3)交替反射后入射到所述探测反射镜(4)，所述探测反射镜(4)将所述激光束(11)反射到所述光电探测器一(5)或光电探测器二(6)，并被所述探测部件一(51)、探测部件二(52)、探测部件三(53)、探测部件四(61)、探测部件五(62)或探测部件六(63)感应，所述处理系统通信连接所述光电探测器一(5)和光电探测器二(6)，并用于统计所述探测部件一(51)、探测部件二(52)、探测部件三(53)、探测部件四(61)、探测部件五(62)和探测部件六(63)感应所述激光束(11)的次数和感光顺序，其特征在于，其测量方法包括以下步骤：a、将被测物体(8)固定连接于所述移动反射镜(3)；b、发射一束激光束(11)，所述激光束(11)以一定角度入射在所述固定反射镜(2)上，假设入射角为θ，所述激光束(11)经过所述固定反射镜(2)和移动反射镜(3)的连续反射后照射到所述探测反射镜(4)，经所述探测反射镜(4)反射到所述光电探测器一(5)或光电探测器二(6)上；c、移动所述被测物体(8)，带动所述移动反射镜(3)同时移动，同时所述激光束(11)的反射路径变化，所述激光束(11)被所述光电探测器一(5)上的所述探测部件一(51)、探测部件二(52)和探测部件三(53)感应或者被所述光电探测器二(6)上的所述探测部件四(61)、探测部件五(62)和探测部件六(63)感应，所述被测物体(8)停止移动时，所述处理系统统计所述探测部件一(51)、探测部件二(52)、探测部件三(53)、探测部件四(61)、探测部件五(62)和探测部件六(63)感应到所述激光束(11)的次数和感光顺序以及各探测部件间的间距，得出所述被测物体(8)的位移值以及位移方向。