[发明专利]一种制备纯硅芯包层掺氟的超低损耗光纤预制棒的方法及其设备

摘要

本发明一种制备纯硅芯包层掺氟的超低损耗光纤预制棒的方法及其设备涉及的是一种采用气相沉积法获得的粉末体，在包层中进行掺氟来制备纯硅芯包层掺氟的超低损耗光纤预制棒的方法。所述的设备包括靶棒、沉积室、外包层喷灯、内包层喷灯、辅助喷灯、芯层喷灯、吊杆、排气管和上部沉积腔体；沉积室上部设置有上部沉积腔体，上部沉积腔体内装有吊杆，吊杆设置有挂钩，吊杆与提升机构相连，靶棒悬挂在与提升机构相连的吊杆的挂钩上，在沉积室下部一侧依次装有外包层喷灯、内包层喷灯、辅助喷灯、芯层喷灯；石墨烧结炉包括石英吊杆、密封组件、盖板、石英炉芯管、石墨炉芯管、气体管路、靶棒、粉末体、石墨加热体和气体质量流量控制器。

主权项

1.一种制备纯硅芯包层掺氟的超低损耗光纤预制棒的设备，其特征在于：包括靶棒、沉积室、外包层喷灯、内包层喷灯、辅助喷灯、芯层喷灯、吊杆、排气管和上部沉积腔体；沉积室上部设置有上部沉积腔体，上部沉积腔体内装有吊杆，吊杆设置有挂钩，吊杆与提升机构相连，靶棒悬挂在与提升机构相连的吊杆的挂钩上，在沉积室下部一侧依次装有外包层喷灯、内包层喷灯、辅助喷灯、芯层喷灯，在沉积室上部一侧设置有排气管，用于排除沉积室内废气；石墨烧结炉包括石英吊杆、密封组件、盖板、石英炉芯管、石墨炉芯管、气体管路、靶棒、粉末体、石墨加热体和气体质量流量控制器；粉末体通过靶棒与石英吊杆相连接，烧结过程中，石英吊杆上下移动，并自转；气体管路上安装有气体质量流量控制器；粉末体置于石英炉芯管，由上而下通过由石墨加热体产生的高温区，石英炉芯管在石墨炉芯管内，石墨加热体围绕在石墨炉芯管外，通过盖板进行密封石英炉芯管，石英吊杆穿过密封组件；密封组件内设置4层隔离，每层中由密封组件气体管路通入N2进行气封；在掺F烧结过程中，由气体质量流量控制器控制He和含氟化合物混合气，通入石英炉芯管的气体管路位于石墨加热体中上部区域。