[发明专利]柔性氧化锌肖特基二极管及其制备方法

摘要

本发明提供一种柔性氧化锌肖特基二极管及其制备方法，采用溶胶凝胶法，以硝酸锌有机溶液和聚四乙烯基苯酚有机溶液等试剂在具有柔性衬底的ITO导电层上形成具有较好柔性的聚四乙烯基苯酚杂化的氧化锌薄膜，并采用热蒸发镀膜法在所述聚四乙烯基苯酚杂化的氧化锌薄膜表面蒸镀贵金属层从而制得柔性氧化锌肖特基二极管。由该方法制备的聚四乙烯基苯酚杂化的氧化锌薄膜具有较高的柔韧性，使得制备的二极管具有良好的机械弯折性能和稳定的电学性能，且该方法工艺简单、原料易得。

主权项

1.一种柔性氧化锌肖特基二极管的制备方法，包括以下步骤：提供一种硝酸锌有机溶液，向所述硝酸锌有机溶液中加入络合剂进行混合制得澄清溶液A；将聚四乙烯基苯酚溶解于2‑甲氧基乙醇溶液中并进行搅拌1.5小时～3小时，制得质量浓度为15 g/L～25 g/L的聚四乙烯基苯酚有机溶液；然后将所述澄清溶液A与所述聚四乙烯基苯酚有机溶液按照体积比为10：(1～3)的比例进行搅拌3小时～5小时，制得前驱体溶液；采用所述前驱体溶液在具有柔性衬底的ITO导电层上形成厚度为100 nm～200 nm的聚四乙烯基苯酚杂化的氧化锌薄膜，并对其进行退火处理；采用热蒸发镀膜法在所述聚四乙烯基苯酚杂化的氧化锌薄膜表面蒸镀贵金属层从而制得所述柔性氧化锌肖特基二极管。