[发明专利]一种触摸屏盖板及膜的制备方法、应用有效
| 申请号： | 201610338200.7 | 申请日： | 2016-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN106048522B | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 陈君;李涛 | 申请（专利权）人： | 上海科比斯光学科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/10;C23C14/34;G06F3/041 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200233 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种触摸屏盖板及膜的制备方法、应用。触摸屏盖板膜的制备方法包括如下步骤：①以氧气为反应气体，以氩气为溅射气体，用硅靶在树脂基板上反应溅射形成氧化硅薄膜；②以氮气作为溅射气体和反应气体，用锌靶在镀有氧化硅薄膜的树脂基板上反应溅射形成氮化锌薄膜；③以氮气为反应气体，以氩气为溅射气体，用硅靶在镀有氮化锌薄膜的树脂基板上反应溅射形成氮化硅薄膜，即得。本发明的触摸屏盖板膜生产效率高、镀膜良率高、生产成本低；表面硬度高，抗刮伤性能和耐磨性较强；表面能较高，能够有效的贴合液晶显示器；可消除段差效应；可在树脂基板触摸屏上进行应用，制得触摸屏盖板。 | ||
| 搜索关键词： | 触摸屏 树脂基板 反应溅射 反应气体 溅射气体 盖板 制备 氮气 氮化锌薄膜 氧化硅薄膜 氩气 盖板膜 硅靶 应用 氮化硅薄膜 生产成本低 液晶显示器 耐磨性 表面硬度 生产效率 表面能 抗刮伤 镀膜 段差 良率 贴合 锌靶 氧气 | ||
【主权项】：
1.一种触摸屏盖板膜的制备方法，其特征在于，为如下步骤：(1)以氧气为反应气体，以氩气为溅射气体，用硅靶在树脂基板上反应溅射形成氧化硅薄膜，得镀有氧化硅薄膜的树脂基板；其中，所述反应溅射的工作气压为3×10‑3～11×10‑3mbar；所述氩气的体积流量为400～800sccm，所述氧气的气体流量为200～500sccm；所述氧化硅薄膜的厚度为10～20nm；(2)以氮气作为溅射气体和反应气体，用锌靶在步骤(1)所得镀有氧化硅薄膜的树脂基板上反应溅射形成氮化锌薄膜，得镀有氮化锌薄膜的树脂基板；其中，所述反应溅射的工作气压为2×10‑3～11×10‑3mbar；所述反应溅射的过程中，镀膜功率为5～15kW；所述氮化锌薄膜对可见光有较强的吸收，外观呈黑色，厚度为10～50nm；(3)以氮气为反应气体，以氩气为溅射气体，用硅靶在步骤(2)所得的镀有氮化锌薄膜的树脂基板上反应溅射形成氮化硅薄膜，即得所述触摸屏盖板膜；其中，所述反应溅射的工作气压为3×10‑3～11×10‑3mbar。
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