[发明专利]基板输送装置

摘要

提供基板输送装置，即使在干燥温度的设定变更时，也不需要进行振动板与转乘单元的高度位置的调节。基板输送装置具有：多张振动板，它们使基板在基板输送面上超声波浮起；和加热器部，其设置在所述振动板的基板输送面的背侧，该基板输送装置构成为：在相邻的振动板的彼此之间设置有使基板转乘到下一个振动板的转乘单元，该转乘单元具有：输送空气喷出部，其向基板输送面侧喷出空气并形成基板输送面的一部分；和支承延长部，其朝向相邻的各个振动板延伸设置，在支承延长部中设置有朝向振动板喷出空气的支承空气喷出部，通过从该支承空气喷出部喷出的空气，将转乘单元非接触地支承在振动板之间，并将振动板的基板输送面与输送空气喷出部调整为平滑。

主权项

一种基板输送装置，其具有：多张振动板，它们按照特定的方向排列，并使基板在基板输送面上超声波浮起；以及加热器部，其设置在所述振动板的基板输送面的背侧，该基板输送装置在使基板浮起的状态下一边对形成在基板上的涂布膜进行干燥一边将基板沿着振动板的排列方向进行输送，该基板输送装置的特征在于，在沿着所述特定的方向相邻的振动板的彼此之间，设置有使基板转乘到下一个振动板的转乘单元，该转乘单元具有：输送空气喷出部，其向基板输送面侧喷出空气，且该输送空气喷出部形成基板输送面的一部分；以及支承延长部，其朝向相邻的各个振动板延伸设置，在所述支承延长部中设置有朝向振动板喷出空气的支承空气喷出部，通过从该支承空气喷出部喷出的空气，将所述转乘单元以非接触的方式支承在振动板之间，并且将所述振动板的基板输送面与所述输送空气喷出部调整为平滑。