[发明专利]一种基于有机薄膜晶体管的生物/化学传感器有效

专利信息
申请号: 201610341745.3 申请日: 2016-05-20
公开(公告)号: CN105954322B 公开(公告)日: 2018-06-19
发明(设计)人: 郭小军;唐伟;李乔峰;陈苏杰;黄钰坤;朱璐瑶;丁立 申请(专利权)人: 上海交通大学
主分类号: G01N27/00 分类号: G01N27/00;G01N27/414;H01L29/786;H01L51/10
代理公司: 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 代理人: 张宁展
地址: 200240 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种基于有机薄膜晶体管的生物/化学传感器,包括由下而上依次层叠的衬底、第一栅电极、第一栅绝缘层、源/漏电极、有机半导体层、第二栅绝缘层、第二栅电极、敏感膜以及封装层,其中,第一栅电极、第一栅绝缘层、源/漏电极和有机半导体层构成置于底部的底栅晶体管,作为参考器件,源/漏电极、有机半导体层、第二栅绝缘层和第二栅电极构成置于顶部的顶栅晶体管,用作敏感器件,该顶栅晶体管与底栅晶体管构建成低电压双栅结构的有机薄膜晶体管,顶栅晶体管与底栅晶体管具有大差异的栅电容值,有机半导体层具有低的禁带缺陷密度。本发明具有工作电压低、灵敏度高、成本低、检测目标多样等优点,能够兼容大面积、快速的印刷/涂布制备工艺,可用于制造可穿戴或移动式传感器,在健康监测、保健医疗领域应用前景广阔。 1
搜索关键词: 有机半导体层 栅绝缘层 栅电极 有机薄膜晶体管 顶栅晶体管 源/漏电极 晶体管 底栅 化学传感器 移动式传感器 保健医疗 参考器件 健康监测 领域应用 敏感器件 双栅结构 依次层叠 制备工艺 低电压 电压低 封装层 可穿戴 灵敏度 敏感膜 栅电容 衬底 禁带 可用 兼容 印刷 检测 制造
【主权项】:
1.一种基于有机薄膜晶体管的生物/化学传感器,其特征在于,包括由下而上依次层叠的衬底、第一栅电极、第一栅绝缘层、源/漏电极、有机半导体层、第二栅绝缘层、第二栅电极、敏感膜以及封装层,所述第一栅电极、第一栅绝缘层、源/漏电极和有机半导体层构成置于底部的底栅晶体管,作为参考器件,所述源/漏电极、有机半导体层、第二栅绝缘层和第二栅电极构成置于顶部的顶栅晶体管,用作敏感器件,该顶栅晶体管与底栅晶体管构建成低电压双栅结构的有机薄膜晶体管,所述顶栅晶体管与所述底栅晶体管具有大差异的栅电容值,该顶栅晶体管的栅电容比所述底栅晶体管的栅电容大4倍以上,所述有机半导体层具有低的禁带缺陷密度。
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