[发明专利]空间分光同轴斐索型同步移相干涉仪及其测量方法有效
| 申请号： | 201610343225.6 | 申请日： | 2016-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN105928455B | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 陈磊;朱文华;郑东晖;孟诗;孙沁园;张瑞;韩志刚;乌兰图雅;何勇;王青 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01J9/02 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 薛云燕 |
| 地址： | 210094 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种空间分光同轴斐索型同步移相干涉仪及其测量方法，属于光学干涉测量仪器领域。该干涉仪包括点光源及其分光组件、斐索型主干涉仪和分光成像组件。方法为：点光源发出的球面波经分光组件分成四束后进入主干涉仪，采用分光组件将一个点光源复制成相同的四个，通过调整四个点光源在主干涉仪准直物镜焦面上与光轴的距离，在参考面与测试面的干涉中引入不同的相移量，然后通过分光成像组件在一个CCD上同时获取四幅成像清晰的相移干涉图。本发明具有成本低、抗震性好、易于操作等特点，可以用于光学元件的实时高精度检测等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 空间 分光 同轴 斐索型 同步 相干 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种空间分光同轴斐索型同步移相干涉仪，其特征在于，包括：点光源(1)及其分光组件(2)、主干涉仪和分光成像组件(10)，由点光源(1)发出的球面波经分光组件分成四束后进入主干涉仪，最后通过分光成像组件(10)在一个CCD(14)上同时获取四幅相移干涉图，其中：所述点光源(1)及其分光组件(2)用于产生四个复振幅相同但空间位置不同的发散球面波；所述主干涉仪为斐索型干涉仪，使从参考面反射回的参考光和测试面反射回的测试光形成干涉场；所述分光成像组件(10)用于将四个光源分别经参考面与测试面反射产生的干涉场在CCD靶面上分开，并且使得CCD靶面与测试面共轭。
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