[发明专利]低辐射双银耐磨耐湿镀膜玻璃

摘要

低辐射双银耐磨耐湿镀膜玻璃,在玻璃基片(1)表面由下到上逐层依次镀覆第一氧化锌铝膜层(2)、第一镍铬膜层(3)、第一银膜层(4)、第二镍铬膜层(5)、第一氧化锌锡膜层(6)、第三镍铬膜层(7)、第二银膜层(8)、第四镍铬膜层(9)、第二氧化锌铝膜层(10)和锡氧化硅膜层(11)；所需溅射靶材种类相对比较少，制备工艺更简便，玻璃性能稳定,降低了成本且节约能源。显著提高了耐潮湿耐水汽的性能，避免银原子团聚造成白点缺陷，且仍能保持强的红外反射能力和低辐射率，并且耐热弯、耐钢化和耐加工。能够在低辐射性能不变的条件下有效提高耐磨和耐湿性，减少损耗，提高使用寿命。

主权项

低辐射双银耐磨耐湿镀膜玻璃,包括玻璃基片(1)、第一氧化锌铝膜层(2)、第一镍铬膜层(3)、第一银膜层(4)、第二镍铬膜层(5)、第一氧化锌锡膜层(6)、第三镍铬膜层(7)、第二银膜层(8)、第四镍铬膜层(9)、第二氧化锌铝膜层(10)和锡氧化硅膜层(11)；其特征在于，在玻璃基片(1)表面由下到上逐层依次镀覆第一氧化锌铝膜层(2)、第一镍铬膜层(3)、第一银膜层(4)、第二镍铬膜层(5)、第一氧化锌锡膜层(6)、第三镍铬膜层(7)、第二银膜层(8)、第四镍铬膜层(9)、第二氧化锌铝膜层(10)和锡氧化硅膜层(11)；具体包含以下步骤：1)一号镀膜室充入氮气和氩气，靶材为氧化锌铝AZO靶，在玻璃基片(1)的表面沉积第一氧化锌铝膜层(2)，厚度为30～80nm；2)二号镀膜室充入氩气，靶材为镍铬NiCr靶，在第一氧化锌铝膜层(2)上沉积第一镍铬膜层(3)，厚度为2.0～3.5nm；3)三号镀膜室充入氩气，靶材为银靶，在第一镍铬膜层(3)上沉积第一银膜层(4)，厚度为8～15nm；4)回到二号镀膜室，在第一银膜层(4)上沉积第二镍铬膜层(5)，厚度为2.0～3.5nm；5)四号镀膜室充入氩气，靶材为氧化锌锡TZO靶，在第二镍铬膜层(5)上沉积第一氧化锌锡膜层(6)，厚度为30～80nm；6)回到二号镀膜室，在第一氧化锌锡膜层(6)上沉积第三镍铬膜层(7)，厚度为2.0～3.5nm；7)回到三号镀膜室，在第三镍铬膜层(7)上沉积第二银膜层(8)，厚度为8～15nm；8)回到二号镀膜室，在第二银膜层(8)上沉积第四镍铬膜层(9)，厚度为2.0～3.5nm；9)回到一号镀膜室，在第四镍铬膜层(9)上沉积第二氧化锌铝膜层(10)，厚度为30～80nm；10)五号镀膜室充入氧气和氩气，靶材为锡氧化硅TSO靶，在第二氧化锌铝膜层(10)上沉积锡氧化硅膜层(11)，厚度为2.5～5.0nm；11)所有膜层全部镀完之后，向镀膜室中充入工艺气体取出成品新型双银耐磨耐湿性低辐射镀膜玻璃即可。