[发明专利]高耐磨耐湿性银基低辐射镀膜玻璃

摘要

高耐磨耐湿性银基低辐射镀膜玻璃,在玻璃基片(1)上依次镀覆有第一氧化锌铝膜层(2)、第一镍铬膜层(3)、银膜层(4)、第二镍铬膜层(5)、第二氧化锌铝膜层(6)和锡氧化硅膜层(7)；引入新材料制备覆盖层，优化配置覆盖层结构减少银基镀膜靶材中SiAl材料的使用，降低成本且节约能源，能够在低辐射性能不变的条件下有效提高耐磨和耐湿性，减少损耗，提高使用寿命。

主权项

高耐磨耐湿性银基低辐射镀膜玻璃,包括玻璃基片(1)、第一氧化锌铝膜层(2)、第一镍铬膜层(3)、银膜层(4)、第二镍铬膜层(5)、第二氧化锌铝膜层(6)和锡氧化硅膜层(7)；其特征在于，在玻璃基片(1)上依次镀覆有第一氧化锌铝膜层(2)、第一镍铬膜层(3)、银膜层(4)、第二镍铬膜层(5)、第二氧化锌铝膜层(6)和锡氧化硅膜层(7)；具体包含以下步骤：①第一个镀膜室充入氮气和氩气，靶材为氧化锌铝AZO靶，在玻璃基片(1)的表面沉积第一氧化锌铝膜层(2)，厚度为30～80nm；②第二个镀膜室充入氩气，靶材为镍铬靶，在第一氧化锌铝膜层(2)上沉积第一镍铬膜层(3)，厚度为2.0～3.5nm；③第三个镀膜室充入氩气，靶材为银靶，在第一镍铬膜层(3)上沉积银膜层(4)，厚度为8～15nm；④第四个镀膜室充入氩气，靶材为镍铬靶，在银膜层(4)上沉积第二镍铬膜层(5)，厚度为2.0～3.5nm；⑤第五个镀膜室充入氧气和氩气，靶材为氧化锌铝AZO靶，在第二镍铬膜层(5)上沉积第二氧化锌铝膜层(6)，厚度为30～80nm；⑥第六个镀膜室充入氧气和氩气，靶材为锡氧化硅TSO靶，在第二氧化锌铝膜层(6)上沉积锡氧化硅膜层(7)，厚度为2.5～5.0nm；⑦所有膜层全部镀完之后向镀膜室中充入工艺气体取下成品新型银基低辐射镀膜玻璃，再将镀膜室抽真空保护镀膜室。