[发明专利]一种薄膜晶体管、其制作方法及相应装置

摘要

本发明涉及一种薄膜晶体管、其制作方法及相应装置，用以解决现有技术中薄膜晶体管，其有源层采用一定直径分布的碳纳米管组成随机网络来形成空间分布均匀的薄膜，需要采用贵金属作为碳纳米管的源漏极，制作成本较高的问题。该薄膜晶体管包括：源电极，漏电极，以及由至少三种不同直径的碳纳米管构成的有源层；构成有源层沟道区域的碳纳米管的直径值最小；分别与源电极和漏电极接触的碳纳米管的直径相同且直径值最大；在最小直径的碳纳米管和最大直径的碳纳米管之间设置有至少一种不同直径的碳纳米管。本发明中三种直径的碳纳米管的价带形成阶梯，形成的能级缓冲层有利于空穴从电极到沟道的注入，进而可以采用普通金属作为源漏极，降低了制作成本。

主权项

1.一种薄膜晶体管，其特征在于，包括：源电极，漏电极，以及由至少三种不同直径的碳纳米管构成的有源层；其中，构成所述有源层的沟道区域的碳纳米管的直径值最小；分别与所述源电极和所述漏电极接触的碳纳米管的直径相同、且直径值最大；在最小直径的碳纳米管和最大直径的碳纳米管之间设置有至少一种不同直径的碳纳米管。