[发明专利]一种提高铁电薄膜抗击穿能力的方法有效
| 申请号： | 201610343918.5 | 申请日： | 2016-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN105932152B | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 胡广达;闫静;蒋晓妹 | 申请（专利权）人： | 济南大学 |
| 主分类号： | H01L41/22 | 分类号： | H01L41/22;H01L41/39;C04B35/26 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人： | 贾波 |
| 地址： | 250022 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高铁电薄膜抗击穿能力的方法，该方法是以金属铝片作为铁电薄膜的电极，或者以表面覆有一层铝膜的其他材质作为铁电薄膜的电极，对铁电薄膜的电极进行预处理后再在预处理的电极上生长铁电薄膜；所述铁电薄膜的电极在气体保护、300‑480℃下进行预处理。本发明首次提出通过电极的选择提高铁电薄膜抗击穿能力的思路，并提供了可行的电极。所得铁电薄膜具有很强的抗击穿能力，漏电流很低，能测到薄膜的真实铁电性能，在未来铁电薄膜的制备过程和器件应用中都具有良好的前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 薄膜 抗击 能力 方法 | ||
【主权项】：
1.一种提高铁电薄膜抗击穿能力的方法，其特征是：以金属铝片作为铁电薄膜的电极，或者以表面覆有一层铝膜的其他材质作为铁电薄膜的电极，对电极进行预处理后再在预处理的电极上生长铁电薄膜；所述铁电薄膜的电极在气体保护、300‑480℃下进行预处理；所述铁电薄膜为BiFeO3铁电薄膜、BiFeO3基铁电薄膜、PbTiO3铁电薄膜或PbTiO3基铁电薄膜。
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