[发明专利]一种基板对位装置和对位方法在审

专利信息
申请号: 201610344085.4 申请日: 2016-05-23
公开(公告)号: CN105807459A 公开(公告)日: 2016-07-27
发明(设计)人: 吕晶;郭立勇;龚增超;刘宇;岳福伟;吴磊;赵明;任文福 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司
主分类号: G02F1/13 分类号: G02F1/13
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 黄志华
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种基板对位装置和对位方法,以实现低成本、高可靠性的基板对位。所述基板对位装置,包括用于承载基板的承载平台和用于对所述基板进行限位的限位部件,所述承载平台由导磁材料构成;所述承载平台的承载面刻画有坐标刻度线,所述坐标刻度线用于标明放置于所述承载平台上的基板的位置坐标;所述限位部件包括限位臂和设置于所述限位臂上的磁性吸附结构,所述限位臂用于对放置于所述承载平台之上的所述基板的至少相邻的两边进行限位,并通过所述磁性吸附结构使所述限位臂固定于所述承载平台上。
搜索关键词: 一种 对位 装置 方法
【主权项】:
一种基板对位装置,其特征在于,包括用于承载基板的承载平台和用于对所述基板进行限位的限位部件,所述承载平台由导磁材料构成;所述承载平台的承载面刻画有坐标刻度线,所述坐标刻度线用于标明放置于所述承载平台上的基板的位置坐标;所述限位部件包括限位臂和设置于所述限位臂上的磁性吸附结构,所述限位臂用于对放置于所述承载平台之上的所述基板的至少相邻的两边进行限位,并通过所述磁性吸附结构使所述限位臂固定于所述承载平台上。
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