[发明专利]一种氧化镓日盲紫外探测器及其制备方法

摘要

本申请公开了一种氧化镓日盲紫外探测器及其制备方法，其中，氧化镓日盲紫外探测器的制备方法包括：将融化的金属镓旋涂于衬底表面；将表面涂覆有金属镓的衬底在预设温度条件焙烧第一预设时间，预设温度的取值范围为800‑1100℃，包括端点值，第一预设时间的取值范围为10‑200min，包括端点值；冷却衬底以及焙烧所得产物，在衬底表面形成金属镓层，以及位于金属镓层背离衬底一侧的β‑氧化镓纳米线阵列薄膜；在β‑氧化镓纳米线阵列薄膜背离金属镓层一侧表面形成金属层；引出金属层以及金属镓层分别作为第一探测电极和第二探测电极。整个制备过程的制备工艺简单、所需成本较低，且制备所得的氧化镓日盲紫外探测器的响应速度较快。

主权项

一种氧化镓日盲紫外探测器的制备方法，其特征在于，包括：将融化的金属镓旋涂于衬底表面；将表面涂覆有金属镓的衬底在预设温度条件焙烧第一预设时间，所述预设温度的取值范围为800‑1100℃，包括端点值，所述第一预设时间的取值范围为10‑200min，包括端点值；冷却所述衬底以及焙烧所得产物，在所述衬底表面形成金属镓层，以及位于所述金属镓层背离所述衬底一侧的β‑氧化镓纳米线阵列薄膜；在所述β‑氧化镓纳米线阵列薄膜背离所述金属镓层一侧表面形成金属层；引出所述金属层以及所述金属镓层分别作为第一探测电极和第二探测电极。