[发明专利]一种抗静电的透明隔热ATO涂层的制备方法在审
| 申请号： | 201610344933.1 | 申请日： | 2016-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN105970154A | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 黄勇彪;籍龙占;林文宝;刘海燕;涂代旺;郑林芬;谢丑相;王国昌 | 申请（专利权）人： | 深圳市众诚达应用材料科技有限公司;杭州朗旭新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 518106 广东省深圳市光明*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抗静电的透明隔热ATO涂层的制备方法：包括1)清洗衬底基片；2)溅射镀膜。采用本发明的一种抗静电的透明隔热ATO涂层的制备方法制备的ATO涂层克服了传统湿法制备工艺的诸多不足，具有高透过率、高反射性、高硬度、低电阻、抗静电，耐候性好、隔热性好的特点，且制备方法的工艺重复稳定性好、生产效率高、节能环保，易于大规模工业生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抗静电 透明 隔热 ato 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种抗静电的透明隔热ATO涂层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1)清洗衬底基片：将衬底基片使用超声波清洗机进行超声清洗后吹干，得到洁净衬底基片；2)溅射镀膜：将洁净衬底基片置于真空室并抽真空，用RF电源对ATO陶瓷靶进行溅射，使洁净衬底基片上附着有ATO涂层沉积。
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