[发明专利]一种基于黑磷氟化物波导的中红外电光调制器

摘要

本发明公开了一种基于黑磷氟化物波导的中红外电光调制器，属于光通信领域中的中红外电光调制器，其目的在于提供一种基于黑磷氟化物波导的中红外电光调制器，采用氟化物玻璃作为波导材料，有效提高该中红外电光调制器的调制速率。其技术方案为：包括衬底层，所述衬底层的上表面上开设有凹槽，所述凹槽内设置有第一光波导，所述第一光波导的上表面上由下往上依次层叠设置有第一隔离介质层、第一黑磷层、第二隔离介质层、第二黑磷层、第三隔离介质层，所述第三隔离介质层的上表面上设置有第二光波导，所述第一黑磷层从第一光波导的左侧延伸出并与第一电极连接，第二黑磷层从第一光波导的右侧延伸出并与第二电极连接。本发明适用于中红外电光调制器。

主权项

一种基于黑磷氟化物波导的中红外电光调制器，包括衬底层（1），其特征在于：所述衬底层（1）的上表面上开设有凹槽，所述凹槽内设置有第一光波导（2），所述第一光波导（2）的上表面上由下往上依次层叠设置有第一隔离介质层（3）、第一黑磷层（4）、第二隔离介质层（5）、第二黑磷层（6）、第三隔离介质层（7），所述第三隔离介质层（7）的上表面上设置有第二光波导（8），所述第一黑磷层（4）从第一光波导（2）的左侧延伸出并与第一电极（9）连接，第二黑磷层（6）从第一光波导（2）的右侧延伸出并与第二电极（10）连接；所述第一光波导（2）和第二光波导（8）的材料均为氟化物玻璃。