[发明专利]薄膜厚度异常的检测方法与检测系统有效
| 申请号： | 201610345671.0 | 申请日： | 2016-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN106023412B | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 戚务昌;林永辉;韩晓伟 | 申请（专利权）人： | 威海华菱光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G07D7/164 | 分类号： | G07D7/164 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 赵囡囡;吴贵明 |
| 地址： | 264209 山东省威海*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种薄膜厚度异常的检测方法与检测系统。该检测方法包括：步骤S1，获取薄膜的M行N列的检测点的检测电压，或者获取薄膜的M行N列的检测点的检测电压对应的M行N列的数字信号，其中，M≥1，N≥2；步骤S2，对至少一行中的至少两个检测点对应的检测电压或者数字信号作差，和/或对不同行不同列的至少两个检测点对应的检测电压或者数字信号作差，得到至少一个差值；步骤S3，将各差值的绝对值与标准值进行比较，当至少一个差值的绝对值大于标准值时，薄膜的厚度存在异常。该方法不仅可以将与检测点列方向平行的厚度异常检测出来，并且，还可以将其他方向的厚度异常检测出来。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 厚度 异常 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜厚度异常的检测方法，其特征在于，所述检测方法包括：步骤S1，获取薄膜的M行N列的检测点的检测电压，或者获取薄膜的M行N列的检测点的检测电压对应的M行N列的数字信号，其中，M≥1，N≥2；步骤S2，对同行中的至少两个检测点对应的检测电压或者数字信号作差且对不同行不同列的至少两个检测点对应的检测电压或者数字信号作差，或对不同行不同列的至少两个检测点对应的检测电压或者数字信号作差，得到至少一个差值；以及步骤S3，将各所述差值的绝对值与标准值进行比较，当至少一个所述差值的绝对值大于所述标准值时，所述薄膜的厚度存在异常。
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