[发明专利]一种全熔高效多晶硅铸锭的方法有效

专利信息
申请号: 201610345926.3 申请日: 2016-05-23
公开(公告)号: CN105803527B 公开(公告)日: 2018-12-11
发明(设计)人: 郑玉芹;武鹏;黄春来;张华利;吴义华 申请(专利权)人: 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 唐清凯
地址: 221004 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种全熔高效多晶硅铸锭的方法,包括以下步骤:将混合有无机或有机成孔剂的形核源涂液涂覆在坩埚底部,形成疏松多孔的形核源层;在形核源层上方设置熔融状态的硅料;控制所述坩埚内的温度沿垂直于所述坩埚底部向上的方向逐渐上升,使得所述熔融状态的硅料在所述形核源上方形核结晶,生成晶体硅锭。上述方法中,形核源层制备过程中加入有无机或有机成孔剂,形成疏松多孔的形核源层,使硅液与底部形核源层接触面积增加,从而使全熔高效多晶底部形核点更多且更均匀,使从而提升形核能力。此外,还可以减少铺底形核颗粒料的使用,降低铸锭成本。
搜索关键词: 一种 高效 多晶 铸锭 方法
【主权项】:
1.一种全熔高效多晶硅铸锭的方法,其特征在于,包括以下步骤:将混合有石英砂、硅溶胶,及氢氧化钡或氢氧化钙的形核源涂液涂覆在坩埚底部,形成疏松多孔的形核源层;在形核源层上进一步涂覆脱模涂液形成脱模层;在形核源层上方设置熔融状态的硅料;控制所述坩埚内的温度沿垂直于所述坩埚底部向上的方向逐渐上升,使得所述熔融状态的硅料在所述形核源上方形核结晶,生成晶体硅锭。
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