[发明专利]一种全熔高效多晶硅铸锭的方法有效
申请号: | 201610345926.3 | 申请日: | 2016-05-23 |
公开(公告)号: | CN105803527B | 公开(公告)日: | 2018-12-11 |
发明(设计)人: | 郑玉芹;武鹏;黄春来;张华利;吴义华 | 申请(专利权)人: | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 唐清凯 |
地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种全熔高效多晶硅铸锭的方法,包括以下步骤:将混合有无机或有机成孔剂的形核源涂液涂覆在坩埚底部,形成疏松多孔的形核源层;在形核源层上方设置熔融状态的硅料;控制所述坩埚内的温度沿垂直于所述坩埚底部向上的方向逐渐上升,使得所述熔融状态的硅料在所述形核源上方形核结晶,生成晶体硅锭。上述方法中,形核源层制备过程中加入有无机或有机成孔剂,形成疏松多孔的形核源层,使硅液与底部形核源层接触面积增加,从而使全熔高效多晶底部形核点更多且更均匀,使从而提升形核能力。此外,还可以减少铺底形核颗粒料的使用,降低铸锭成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 高效 多晶 铸锭 方法 | ||
【主权项】:
1.一种全熔高效多晶硅铸锭的方法,其特征在于,包括以下步骤:将混合有石英砂、硅溶胶,及氢氧化钡或氢氧化钙的形核源涂液涂覆在坩埚底部,形成疏松多孔的形核源层;在形核源层上进一步涂覆脱模涂液形成脱模层;在形核源层上方设置熔融状态的硅料;控制所述坩埚内的温度沿垂直于所述坩埚底部向上的方向逐渐上升,使得所述熔融状态的硅料在所述形核源上方形核结晶,生成晶体硅锭。
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