[发明专利]一种CrAlTiSiN刀具保护性涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 201610347127.X | 申请日： | 2016-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN105839054A | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 张亚樑;李伟 | 申请（专利权）人： | 上海都浩真空镀膜技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 吴宝根 |
| 地址： | 201404 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明一种CrAlTiSiN刀具保护性涂层，由Cr、Al、Ti、Si和N元素组成，其中Cr、Al、Ti、Si、N的原子比为12‑16%、20‑24%、4‑8%、6‑10%和48‑52%。还提供了上述刀具保护性涂层的制备方法，先对基体进行超声清洗和离子清洗；将经过清洗处理后的基体送到溅射室，沉积CrN过渡层；将沉积了CrN过渡层的基体再沉积CrAlN过渡层；将沉积了CrAlN过渡层的基材，利用射频阴极控制的CrAlTiSi复合靶材，沉积CrAlTiSi纳米复合涂层。本发明的CrAlTiSiN涂层不但具有高于40GPa的硬度，而且具有优良的高温服役性能，可满足1000℃下进行服役的高速切削刀具。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 craltisin 刀具 保护性 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种CrAlTiSiN刀具保护性涂层，其特征在于：所述涂层由Cr、Al、Ti、Si和N元素组成，其中Cr、Al、Ti、Si、N的原子比为12‑16%、20‑24%、4‑8%、6‑10%和48‑52%。
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