[发明专利]一种压电驱动夹持器有效
申请号: | 201610347412.1 | 申请日: | 2016-05-24 |
公开(公告)号: | CN105798877B | 公开(公告)日: | 2018-07-31 |
发明(设计)人: | 陈涛;王雅琼;杨湛;刘会聪;王蓬勃;金国庆;张略;孙立宁 | 申请(专利权)人: | 苏州大学 |
主分类号: | B25J7/00 | 分类号: | B25J7/00;B25J15/08 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 王锋 |
地址: | 215123 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种压电驱动夹持器,其包括基座,所述压电驱动夹持器包括自基座一侧向外延伸的夹持臂、与夹持臂连接的压电陶瓷块、与夹持臂连接的PCB板以及位于夹持臂末端的末端执行器,所述压电陶瓷块的变形能带动夹持臂朝夹紧末端执行器的方向运动并实现扫描电镜真空中自动进行末端夹持器的装夹,所述夹持臂包括上夹持臂和下夹持臂。本发明通过夹持臂的杠杆结构将压电陶瓷块的变形量放大使得下夹持臂向上移动从而实现自动夹紧末端执行器的操作。 | ||
搜索关键词: | 一种 压电 驱动 夹持 | ||
【主权项】:
1.一种压电驱动夹持器,其包括基座,其特征在于:所述压电驱动夹持器包括自基座一侧向外延伸的夹持臂、与夹持臂连接的压电陶瓷块、与夹持臂连接的PCB板以及位于夹持臂末端的末端执行器,所述压电驱动夹持器在真空环境下使用,所述压电陶瓷块的变形能带动夹持臂朝夹紧末端执行器的方向运动,所述夹持臂为一杠杆结构,所述夹持臂包括支点部、位于支点部一侧的第一杠杆部及位于支点部另一侧的第二杠杆部,所述第一杠杆部包括第一臂部以及与第一臂部相对设置的第二臂部,所述压电陶瓷块安装于第一臂部与第二臂部之间,所述压电陶瓷块放置于第二臂部上并被第二臂部做支撑,所述第二臂部为悬臂,所述第二杠杆部包括上夹持臂和下夹持臂,所述压电陶瓷块的变形量放大使得下夹持臂朝夹紧末端执行器的方向运动并实现自动夹紧末端执行器的操作。
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