[发明专利]显影液的浓度监测系统及方法有效
申请号: | 201610349174.8 | 申请日: | 2016-05-24 |
公开(公告)号: | CN106053537B | 公开(公告)日: | 2019-01-22 |
发明(设计)人: | 巫景铭 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G01N27/00 | 分类号: | G01N27/00 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 何青瓦 |
地址: | 518006 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种显影液的浓度监测系统及方法,该系统包括:第一提取设备,用于从显影液存储设备提取显影液;第二提取设备,用于从反应液存储设备提取反应液;反应室,第一提取设备和第二提取设备进一步分别将提取到的显影液和反应液输送至反应室,以使得二者在反应室内进行化学反应;检测设备,用于检测反应后的显影液和反应液的PH值;计算设备,用于根据检测设备所检测到的PH值计算显影液的浓度。通过上述方式,本发明能够准确直观地在线反映显影液的浓度。 | ||
搜索关键词: | 显影液 浓度 监测 系统 方法 | ||
【主权项】:
1.一种显影液的浓度监测系统,其特征在于,所述浓度监测系统包括:第一提取设备,用于从显影液存储设备提取显影液;第二提取设备,用于从反应液存储设备提取反应液;反应室,所述第一提取设备和所述第二提取设备进一步分别将提取到的所述显影液和所述反应液输送至所述反应室,以使得二者在所述反应室内进行化学反应;检测设备,用于检测反应后的所述显影液和所述反应液的PH值;计算设备,用于根据所述检测设备所检测到的PH值计算所述显影液的浓度;其中,所述浓度监测系统进一步包括连接于所述第一提取设备与所述显影液存储设备和所述反应室之间的第一切换设备以及连接于所述第二提取设备与所述反应液储设备和所述反应室之间的第二切换设备;其中,所述第一切换设备用于将所述第一提取设备选择性连接至所述显影液存储设备的出液口和所述反应室的第一进液口,以使得所述第一提取设备能够从所述显影液存储设备提取所述显影液并输送至所述反应室;所述第二切换设备用于将所述第二提取设备选择性连接至所述反应液存储设备的出液口和所述反应室的第二进液口,以使得所述第二提取设备能够从所述反应液存储设备提取所述反应液并输送至所述反应室;所述第一切换设备进一步用于将所述第一提取设备选择性连接至所述显影液存储设备的进液口,以使得所述第一提取设备能够将提取的所述显影液输送回所述显影液存储设备;所述第二切换设备进一步用于将所述第二提取设备选择性连接至所述反应液存储设备的进液口,以使得所述第二提取设备能够将提取的所述反应液输送回所述反应液存储设备。
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