[发明专利]处理已使用蚀刻液的再循环系统以及再生方法在审
| 申请号： | 201610349812.6 | 申请日： | 2016-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN106011862A | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 毛谙章;李钧;姚标 | 申请（专利权）人： | 深圳市危险废物处理站有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C23F1/08;C25C1/12;C25C7/00 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 谢志为 |
| 地址： | 518057 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于处理已使用蚀刻液的再循环系统，其包括：再生单元，所述再生单元具有蚀刻恢复槽，用于接收已使用蚀刻液；以及电化学单元，用于提供反应物至所述蚀刻恢复槽，所述反应物与所述已使用蚀刻液反应以恢复所述已使用蚀刻液的氧化还原电位和/或密度而再生为可使用的蚀刻液。本发明还涉及一种已使用蚀刻液的再生方法。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 使用 蚀刻 再循环 系统 以及 再生 方法 | ||
【主权项】：
一种用于处理已使用蚀刻液的再循环系统，其包括：再生单元，所述再生单元具有蚀刻恢复槽，用于接收已使用蚀刻液；以及电化学单元，用于提供反应物至所述蚀刻恢复槽，所述反应物与所述已使用蚀刻液反应以恢复所述已使用蚀刻液的氧化还原电位和/或密度而再生为可使用的蚀刻液。
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