[发明专利]太赫兹近场探测器、光电导天线及其制作方法有效
申请号: | 201610349988.1 | 申请日: | 2016-05-24 |
公开(公告)号: | CN105870582B | 公开(公告)日: | 2017-07-18 |
发明(设计)人: | 丁庆;彭世昌;潘奕;李辰 | 申请(专利权)人: | 深圳市太赫兹系统设备有限公司;深圳市太赫兹科技创新研究院 |
主分类号: | H01Q1/22 | 分类号: | H01Q1/22;H01Q1/38;G01N21/3586 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人: | 石佩 |
地址: | 518102 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种太赫兹近场探测器和光电导天线,以及该光电导天线的制作方法。所述光电导天线包括衬底,粘合在衬底上的低温砷化镓波片层,粘合在低温砷化镓波片层上的偶极天线,偶极天线为低温砷化镓薄片,设置在偶极天线上的绝缘层,以及设置在绝缘层上的带孔金属板。带孔金属板能使背景噪声信号大幅衰减,提高近场探测的空间分辨率。 | ||
搜索关键词: | 赫兹 近场 探测器 电导 天线 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种用于太赫兹近场探测的光电导天线,其特征在于,包括:衬底;低温砷化镓波片层,粘合在衬底上;偶极天线,为由低温生长的砷化镓薄膜层蚀刻而成并粘合在低温砷化镓波片层上;绝缘层,设置在偶极天线上;以及带孔金属板,设置在绝缘层上。
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