[发明专利]一种基于聚甲基苯基硅烷/聚甲基丙烯酸苄酯共聚物光波导的微反射镜制作方法

摘要

本发明涉及一种基于聚甲基苯基硅烷/聚甲基丙烯基苄酯共聚物光波导的微反射镜的制作方法，其先在基板表面镀上铜膜，然后在铜膜表面形成SU‑8胶下包层，在SU‑8胶下包层上形成聚甲基苯基硅烷‑聚甲基丙烯基苄酯层后，经紫外曝光形成光波导芯层结构，再在芯层上形成SU‑8胶上包层，使用90度V形倒角的金刚石砂轮刀片沿垂直于光波导的方向切割，在光波导的端面形成45°微反射镜结构，最后通过腐蚀液将微反射镜下的铜膜腐蚀后，得到剥离下的微反射镜；整个工艺过程简单、可控，制得的微反射镜具有较低的反射损耗。

主权项

一种基于聚甲基苯基硅烷/聚甲基丙烯基苄酯共聚物光波导的微反射镜的制作方法，其特征在于以下步骤：(1) 选取表面为光学水平面的耐腐蚀基板，清洗，在100℃以上加热烘干，除去表面水分；(2) 在基板的一侧表面上镀上一层铜膜；(3) 在铜膜表面旋涂SU‑8胶，经前烘、360nm以上波长紫外光曝光和后烘处理后，形成化学和热稳定的SU‑8胶下包层；(4) 在SU‑8胶下包层表面旋涂聚甲基苯基硅烷‑聚甲基丙烯基苄酯层，加热蒸除溶剂；(5) 在聚甲基苯基硅烷‑聚甲基丙烯基苄酯层上覆盖遮光板，经紫外光曝光，形成光波导芯层结构；(6) 在曝光后的甲基苯基硅烷‑聚甲基丙烯基苄酯层表面旋涂SU‑8胶，经前烘、360nm以上波长紫外光曝光和后烘处理后，形成化学和热稳定的SU‑8胶上包层；(7) 在垂直于光波导的方向，使用装配有90度V形倒角金刚石砂轮刀片的划片机切割光波导，在光波导的端面形成45°微反射镜结构；(8) 将微反射镜下的铜膜通过三氯化铁腐蚀液腐蚀、去除，将微反射镜从基板表面剥离。