[发明专利]用于真空镀膜探测设备探头上的保护装置在审
| 申请号： | 201610351907.1 | 申请日： | 2016-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN105970179A | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 李明南;夏原;李光;朱洪亚;王扬 | 申请（专利权）人： | 吉林省力科科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 朱红玲 |
| 地址： | 132000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 用于真空镀膜探测设备探头上的保护装置，涉及真空镀膜技术领域，解决现有真空镀膜领域内的探头在使用过程中由于薄膜影响，进而导致探头的探测精度低的问题，本发明包括输气管道、可拆卸保护通道、固定装置和法兰；法兰上面固定所述输气管道，可拆卸保护通道通过固定装置连接到所述法兰上；可拆卸保护通道与探测探头连接，输气管道与外部气路连接，将外部保护气喷到所述可拆卸保护通道内。本发明实现了在真空镀膜领域内保护探头不被镀上涂层，从而达到保护探头目的。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空镀膜 探测 设备 探头 保护装置 | ||
【主权项】：
用于真空镀膜探测设备探头上的保护装置，包括可拆卸保护通道、输气管道(2)、固定装置(3)和法兰(4)；其特征是，所述可拆卸保护通道通过所述固定装置(3)与法兰(4)连接；所述输气管道(2)的一端与可拆卸保护通道连接，另一端通过法兰(4)与外部气路连接，通过所述外部气路将外部保护气喷到可拆卸保护通道内，探测探头(5)与所述可拆卸保护通道连通。
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