[发明专利]研磨装置以及研磨头

摘要

本发明提供一种研磨装置、研磨头以及保持环。研磨装置能够简单地更换保持环、且不使保持环变形就能够将该保持环固定于驱动环。研磨装置具有用于将基板(W)按压于研磨垫(2)的研磨头(1)。研磨头(1)包括：具有基板接触面(45a)的头主体(10)；与头主体(10)连结的驱动环(46)；包围基板接触面(45a)、并与驱动环(46)连接的保持环(40)。在驱动环(46)形成有第1螺纹(91)，在保持环(40)形成有与第1螺纹(91)卡合的第2螺纹(92)，第2螺纹(92)沿着保持环(40)的周向延伸。

主权项

1.一种研磨装置，其特征在于，该研磨装置包括：研磨台，该研磨台用于支承研磨垫；研磨头，该研磨头用于将基板按压于所述研磨垫；头电动机，该头电动机用于使所述研磨头旋转，所述研磨头包括：头主体，该头主体具有基板接触面；驱动环，该驱动环与所述头主体连结；保持环，该保持环包围所述基板接触面，并与所述驱动环连接，在所述驱动环形成有第1螺纹，在所述保持环形成有与所述第1螺纹卡合的第2螺纹，所述第2螺纹沿着所述保持环的周向延伸，所述驱动环具有环状驱动环主体和从所述环状驱动环主体的下表面向下方突出的环状突部，在所述保持环的上表面形成有收容所述环状突部的环状凹部，在所述环状突部的侧面形成有所述第1螺纹，在所述环状凹部的侧面形成有所述第2螺纹，所述研磨头还具有所述第1螺纹以及所述第2螺纹的防松构造体，所述防松构造体具备：销，该销上下移动自由地支承于所述驱动环；凸轮轴，该凸轮轴能够旋转地支承于所述驱动环并将所述销向上方提起；以及弹簧，该弹簧将所述销朝向所述保持环推压而使所述销向下方向移动，所述保持环具有孔，所述销的顶端能够插入所述孔。