[发明专利]一种微透镜及其制备方法和实验装置

摘要

本发明公开了一种微透镜的制备方法，按照以下步骤实施：步骤1、将基片清洗干净，并在基片上涂覆一层光刻胶，再采用掩膜板执行光刻工艺，显影后在基片上得到光刻胶柱；步骤2、将经步骤1处理后的基片，直接放置在有机蒸汽的气氛下保持一定时间，通过有机蒸汽对光刻胶柱溶解回流形成具备球冠结构的掩膜，即光刻胶微透镜；步骤3、将步骤2中表面形成光刻胶微透镜掩膜的基片，在室温空气中静置1小时后，再对其进行干法刻蚀；步骤4、对步骤3中完成干法刻蚀的基片进行酸洗，去除光刻后的杂质，得到微透镜，解决了传统热回流方法制备微透镜掩膜时，在同一球冠直径下得到的微透镜曲率半径较小的问题。

主权项

一种微透镜制备方法，其特征在于，按照以下步骤实施：步骤1、将基片(2)清洗干净，并在所述基片(2)上涂覆一层光刻胶，再采用掩膜板执行光刻工艺，显影后在所述基片(2)上得到光刻胶柱；步骤2、将经步骤1处理后的基片(2)，直接放置在有机蒸汽的气氛下保持一定时间，通过有机蒸汽对光刻胶柱溶解回流形成具备球冠结构的掩膜，即光刻胶微透镜(1)；步骤3、将步骤2中表面形成光刻胶微透镜(1)掩膜的基片(2)，在室温空气中静置一小时后，再对其进行干法刻蚀；步骤4、对步骤3中完成干法刻蚀的基片2进行酸洗，去除光刻后的杂质，得到微透镜。