[发明专利]基于表面声波的湿度传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201610352725.6 | 申请日： | 2016-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN107422031A | 公开（公告）日： | 2017-12-01 |
| 发明（设计）人： | 刘源;保罗·邦凡蒂 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02;G01N29/036 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙)31219 | 代理人： | 罗泳文 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于表面声波的湿度传感器及其制造方法，所述湿度传感器包括压电薄膜、叉指电极、反射金属栅以及位于叉指电极区域的用于吸收水分子的敏感材料。在叉指电极加上AC电压时，压电薄膜表面产生表面声波，通过比较吸收水分前后的表面声波的谐振频率变化，可以获得水分子的浓度。相比于现有的体声波为MHz数量级，本发明的压电薄膜表面声波的频率可高于1GHz，使得吸收水分后谐振频率的变化值较大，从而大大提高湿度传感器的灵敏度。另外，表面声波可以通过反射金属栅反射加强，以进一步提高湿度传感器的灵敏度。本发明结构及制备方法简单，在传感器设计及制备领域具有广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 表面 声波 湿度 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于表面声波的湿度传感器的制造方法，其特征在于，包括步骤：步骤1)，提供一基底，于所述基底表面形成压电薄膜；步骤2)，于所述压电薄膜上制作叉指电极以及位于所述叉指电极两侧的反射金属栅；步骤3)，于所述叉指电极及压电薄膜表面形成敏感材料。
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